三坐標測量機作為高精密計量檢測儀器，正常工作溫度應該是20℃±2℃。測量機的長度基準-光柵是按照20℃修正的，同樣測量機也是在這個溫度情況下裝配調試的，當溫度偏離太大時會對測量精度造成很大影響。主要影響因素如下：
一、溫度是影響測量機精度的大因素
測量機的機房內溫度自下而上是逐漸升高的，而且溫度每時每刻又都在變化。因此每個軸的光柵溫度和零件溫度的差別就影響了測量機測量的精度。這是影響測量機精度的大因素。在測量軟件中可用線性修正和溫度修正來針對現場檢定時的環境情況修正溫度影響。
在使用時要盡量保持測量機房的環境溫度與檢定時一致。此外電氣設備、計算機、人員都是熱源。在設備安裝時要做好規劃，使電氣設備、計算機等與測量機有一定的距離。測量機房加強管理不要有多余人員停留。高精度的三坐標測量機在使用時更要嚴格監管現場環境。
二、空調的風向對測量機溫度的影響
1、測量機房的空調應盡量選擇變頻空調。變頻空調節能性能好，主要的是控溫能力強。在正常容量的情況下，控溫可在±1℃范圍內。
2、由于空調器吹出風的溫度不是20℃，因此決不能讓風直接吹到測量機上。有時為防止風吹到測量機上而把風向轉向墻壁或一側，結果出現機房內一邊熱一邊涼，溫差非常大的情況。
3、空調器的安裝應有規劃，應讓風吹到室內的主要位置，風向向上形成大循環（不能吹到測量機），盡量使室內溫度均衡。
4、有條件的，應安裝風道將風送到房間頂部通過雙層孔板送風，回風口在房間下部。這樣使氣流無規則的流動，可以使機房溫度控制更加合理。
三、空調的開關時間對機房溫度的影響
許多用戶對測量機房的空調管理方法是：使用測量機時打開空調，用完即關閉。這種作法對測量機的精度有很大影響。要保持測量機溫度與空氣溫度一致，需要恒溫24小時以上，空調的即開即關使機房的溫度始終在變化，測量機的溫度也一直在變化中，此時機器處于一種不穩定的狀態，精度會很差。在這種情況下應盡量提高機房的保溫性能，每天早晨上班時打開空調，晚上下班再關閉空調。待機房溫度穩定大約4小時后，測量機精度才能穩定。
四、機房結構對機房溫度的影響
測量機房要恒溫，要有保溫措施。如有窗戶要采用雙層窗，并避免有陽光照射。門口要盡量采用過渡間，減少溫度散失。機房的空調選擇要與房間相當，機房過大或過小都會對溫度控制造成困難。